Masterarbeit - Quantitative Untersuchung der Versetzungsdichte in HVPE-GaN

Am Standort Erlangen gestalten die über 400 Mitarbeitenden des Fraunhofer-Instituts für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB anwendungsbezogene Forschung und Entwicklung zu innovativen Themen der Halbleitertechnologie und Leistungselektronik.

Die Arbeitsgruppe »Nitridmaterialien« beschäftigt sich im Rahmen von öffentlich geförderten Projekten und von direkten Industrieaufträgen mit der Herstellung und Charakterisierung von Nitridhalbleitermaterialien für elektronische und optoelektronische Anwendungen.

Du möchtest Deine Fachkenntnisse in nutzbringende und sinnvolle Forschung umsetzen und deine Masterarbeit bei einem führenden Forschungsinstitut absolvieren? Dann haben wir hier ein interessantes Angebot für Dich!

Wir bieten Dir die Möglichkeit einer Masterarbeit mit dem Thema »Quantitative Untersuchung der Versetzungsdichte in HVPE-GaN mittels Röntgentopographie und defektselektivem Ätzen«:

Das Halbleitermaterial Galliumnitrid (GaN) spielt auf Grund seiner großen Bandlücke eine zunehmend wichtige Rolle als Basismaterial für leistungselektronische Bauelemente wie zum Beispiel Transistoren. Entscheidend für die Abscheidung dazu notwendiger, funktionaler Bauelementschichten ist ein qualitativ möglichst gutes GaN-Substrat, das heißt das Vorliegen einer möglichst geringen Dichte an Kristalldefekten wie beispielsweise Versetzungen. Im Rahmen dieser Masterarbeit wird das Verfahren der Röntgentopographie (XRT) auf seine Anwendbarkeit zur Charakterisierung der Versetzungsdichte von GaN untersucht, welches mit der HVPE-Methode (engl.: hydride vapor-phase epitaxy) hergestellt wurde. Dazu wird zunächst eine systematische Variation von Messparametern durchgeführt und deren Auswirkungen auf die Sichtbarkeit von Versetzungsstrukturen in den mittels XRT aufgenommenen Bildern evaluiert. Komplementäre Messungen werden verwendet, um eine lokale Bestimmung der expliziten Versetzungsdichte durchzuführen. Im direkten Vergleich wird geprüft, ob sich eine Kalibrierkurve erstellen lässt, welche es erlaubt, die Versetzungsdichte allein mittels XRT zu bestimmen.