MA Direkte Nanostrukturierung von Photoresists mit tief-ultravioletter (DUV) Laserstrahlung
Das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, Europas führendes Zentrum für Auftragsforschung und -entwicklung auf dem Gebiet der Lasertechnik, bietet in Kooperation mit dem Lehrstuhl für Lasertechnik der RWTH LLT die Möglichkeit zur Erstellung einer Diplomarbeit. Die Gruppe In-Volumen-Strukturierung und Lithographie beschäftigt sich mit der Strukturierung von transparenten Materialien und Halbleitern mittels gepulster Laserstrahlung mit Pulsdauern im Femtosekunden- bis Nanosekundenbereich. Durch den Einsatz von Laserwellenlängen im tief ultravioletten Bereich (150-300 nm) lassen sich Strukturgrößen im Bereich von wenigen hundert Nanometern erzeugen, die beispielsweise in der Halbleiterindustrie, der Medizintechnik oder der Optikindustrie eingesetzt werden. Eine der aktuellen Herausforderungen ergibt sich aus den gestiegenen Anforderungen der neuen Anwendungen an die Auflösung und Kantenqualität der erzeugten Strukturen. Die höchste Auflösung in der Strukturierung wird derzeit mit indirekten photolithographischen Verfahren erreicht, bei denen eine photoaktive Schicht zunächst belichtet und dann chemisch entwickelt wird. Wäre es jedoch möglich, solche Schichten in vergleichbarer Qualität und Auflösung direkt abzutragen, würde dies den gesamten Prozess der Mikrochipherstellung deutlich energieeffizienter und umweltfreundlicher machen. Durch den Einsatz von Lasern mit kurzen Wellenlängen und einer neuartigen, hochauflösenden Phasenmasken-Technologie könnte dieses Ziel realisierbar sein.
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Die Stelle ist bis zur Beendigung der Abschlussarbeit befristet.
Wir wertschätzen und fördern die Vielfalt der Kompetenzen unserer Mitarbeitenden und begrüßen daher alle Bewerbungen – unabhängig von Alter, Geschlecht, Nationalität, ethnischer und sozialer Herkunft, Religion, Weltanschauung, Behinderung sowie sexueller Orientierung und Identität. Schwerbehinderte Menschen werden bei gleicher Eignung bevorzugt eingestellt.
Mit ihrer Fokussierung auf zukunftsrelevante Schlüsseltechnologien sowie auf die Verwertung der Ergebnisse in Wirtschaft und Industrie spielt die Fraunhofer-Gesellschaft eine zentrale Rolle im Innovationsprozess. Als Wegweiser und Impulsgeber für innovative Entwicklungen und wissenschaftliche Exzellenz wirkt sie mit an der Gestaltung unserer Gesellschaft und unserer Zukunft.
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Fragen zu dieser Stelle werden beantwortet von Dr. rer. nat. Serhiy Danylyuk Telefon +49 0241/8906-525
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT
Kennziffer: 73378 Bewerbungsfrist: 30.06.2024
Stellensegment:
Materials Science, Nanotechnology, Science